高壓CV測量系統：CS-605A (5kV) / CS-603A (3kV)
最適合SiC和GaN等功率半導體器件的容量測量
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高達 5kV 或 3kV 的自動容量測量（具有掃描功能） |
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可以直接使用與各種設備封裝兼容的曲線追踪儀適配器 |
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通過探針台支持系統化，用於晶圓和芯片的容量測量 |
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可以測量高壓電容器等的電容
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使用 CV 測量工具（PC 軟件）的測量示例
[示例 1] 高達 2.5 kV 的掃描測量
[示例 2] 高達 70V 的高分辨率測量
規格:
